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選購(gòu)勻膠機(jī)旋涂?jī)x需要考慮哪些因素呢?

更新時(shí)間:2019-07-26      點(diǎn)擊次數(shù):2839
   勻膠機(jī)旋涂?jī)x采用高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,具有高轉(zhuǎn)速、高精度、旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定、涂層(厚度)均勻、操作簡(jiǎn)單快速等特點(diǎn),適用于半導(dǎo)體、硅片、導(dǎo)電玻璃等材料表面的涂覆工藝。勻膠機(jī)旋涂?jī)x可以對(duì)不同尺寸(圓片及特殊尺寸)的基片進(jìn)行勻膠,設(shè)備體積小,占用空間少,PLC全自動(dòng)控制系統(tǒng)保證設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,同時(shí)觸摸屏軟件為用戶提供友好的操作界面。
  勻膠機(jī)旋涂?jī)x有很多種稱謂,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們?cè)矶际且粯拥模丛诟咚傩D(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
  針對(duì)目前勻膠機(jī)旋涂?jī)x市場(chǎng)品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)旋涂?jī)x技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
  從其原理來說,我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)旋涂?jī)x需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)“
  1、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)旋涂?jī)x只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能**標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)旋涂?jī)x雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購(gòu)買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
  2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
  真空泵一定要無(wú)油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)旋涂?jī)x的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題,這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)旋涂?jī)x做得不錯(cuò),他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。
  3、 材質(zhì)的選擇
  對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)旋涂?jī)x采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美國(guó)等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
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